解决方案

共晶机-龙门双驱大理石YYX平台

直驱电机解决方案

结构设计兼容性强，需满足多工艺、多芯片一机生产超高速封装贴合，需同时保证整体轴系运动的高精度龙门结构整体精度细节化把控，保证设备自动标定校准精度的一致性稳定的动态精度，保证设备视觉补偿的一致性

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定龙门大理石XYZ平台

直驱电机解决方案

XY+Z轴全直驱大理石平台，Z轴重载长行程【65Kg&200mm】客户自供ACS驱控，我司平台以高创二代CDHD2测试验收 XYZ轴系垂直度误差均要求全程＜0.01mm 稳定的位置精度，重复定位精度≤1μm，绝对定位精度≤2μm

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UV刻蚀机-定龙门大理石YXZ平台

直驱电机解决方案

XY直驱重载空间正交十字大理石定龙门平台，Z轴长行程高精度丝杆模组，XZ叠十字侧装客户自供ACS驱控，我司平台以高创二代CDHD2测试验收 X/Y与Z轴垂直度误差均要求全程≤0.01mm；X与Y轴垂直度误差均要求全程≤0.015mm，Y轴载平面运行平面度误差≤50μm 稳定的位置精度，双向重复定位精度≤2μm（X/Y）/8μm（Z）绝对定位精度≤4μm（X/Y）/20μm（Z）

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UV刻蚀机-定龙门大理石YXZ平台

直驱电机解决方案

XY直驱重载空间正交十字大理石定龙门平台，XZ叠十字侧装客户自供ACS驱控，以高创二代CDHD2测试交付验收 X/Y与Z轴垂直度误差均要求全程≤0.01mm；X与Y轴垂直度误差均要求全程≤0.015mm，Y轴载平面运行平面度误差≤50μm

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激光打标设备-单工位双定龙门综合平台

直驱电机解决方案

动定子、光电开关、光栅尺和驱动器等电气物料，都有UL认证证书并提供，EtherCAT总线驱动器带STO功能，并提供认证证书绝对值位置反馈系统，断电重启不必要回零初始化单轴最大速度2m/s，编码器分辨率建议不低于100nm 背靠背双载台外形尺寸限制（客户径向宽幅不超过200mm）交期不超过30Days

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晶圆划片机-力矩电机DDR

直驱电机解决方案

八寸晶圆划片机，轴向跳动与径向跳动不超过3μm 划片过程一直喷洒液体，要求马达防水，码盘中不可有水雾造成编码器报错 DD的定位精度不超过±15角秒，重复定位精度不超过±1.5角秒马达尺寸外径不超过140mm，高度不超过90mm

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晶圆切割-定龙门大理石十字平台

直驱电机解决方案

设备精度要求重复定位精度≤±0.5μm产品工艺要求单轴偏摆直线度≤2μm，俯仰直线度≤8μm 匀速段速度波动<0.2%(@500mm/s) 单轴最大速度500mm/s，加速度1G 交期不超过35Days

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