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360°液态折射式测外壁镜头
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测外壁镜头
可调微型多视角镜头
多视角镜头
液态可调微型多视角镜头
多视角镜头
液态微型多视角镜头
多视角镜头
微型多视角镜头
多视角镜头
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多视角镜头
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多视角镜头
八等分多视角镜头
多视角镜头
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斜像镜头
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斜像镜头
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斜像镜头
高性能内同轴远心镜头
高性能内同轴远心镜头

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远心镜头
物方远心镜头
远心镜头
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远心镜头
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远心镜头
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非远心镜头
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非远心镜头
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FA镜头
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FA镜头

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六轴机器人
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六轴机器人
LR10E-R1210/LR15E-R950
六轴机器人
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六轴机器人
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协作机器人
A0912/A0912s
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锁螺丝机器人
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无铁芯BUM系列

有铁芯BFM系列

无铁芯BIM系列

杆式电机
BUMTA系列
无铁芯BUM系列
BUMT系列
无铁芯BUM系列
BFMA06系列
有铁芯BFM系列
BFMA12系列
有铁芯BFM系列
BFMA18系列
有铁芯BFM系列
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有铁芯BFM系列
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有铁芯BFM系列
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有铁芯BFM系列
BFMC06系列
有铁芯BFM系列
BFMC09系列
有铁芯BFM系列
BFMC12系列
有铁芯BFM系列
BFMC15系列
有铁芯BFM系列
BFMD22系列
有铁芯BFM系列
BFME22系列
有铁芯BFM系列
BIM3系列
无铁芯BIM系列
BIM4系列
无铁芯BIM系列
BIM5系列
无铁芯BIM系列
BSM16系列
杆式电机
BSM25系列
杆式电机
BSM32系列
杆式电机

内转子

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FIC40系列
FIC系列
FIC62系列
FIC系列
FOI112系列
有框外转子
FOI80系列
FOI系列
FOI170系列
FOI系列
FOI224 系列
FOI系列
FOI263系列
FOI系列

SP系列

LPS系列

MPS系列

HPP高速拾取平台
SP60系列模组
SP系列
SP80系列模
直线模组
SP100系列模组
直线模组
LPS140系列模组Ⅰ
LPS系列
LPS140系列模组Ⅱ
直线模组
LPS170系列模组Ⅰ
直线模组
LPS170系列模组Ⅱ
直线模组
LPS210系列模组Ⅰ
直线模组
LPS210系列模组Ⅱ
直线模组
MPS95系列模组Ⅰ
MPS系列
MPS95系列模组Ⅱ
直线模组
MPS150系列模组Ⅰ
直线模组
MPS150系列模组Ⅱ
直线模组
MPS180系列模组Ⅰ
直线模组
MPS180系列模组Ⅱ
直线模组
MPS200系列模组Ⅰ
直线模组
MPS200系列模组Ⅱ
直线模组
MPS250系列模组Ⅰ
直线模组
MPS250系列模组Ⅱ
直线模组
HPP高速拾取平台
直线模组

LHK系列
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LHK50
丝杆模组
LHK60
丝杆模组
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丝杆模组
LHK100
丝杆模组

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LRSA-DS6-20系列
ZR模组
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ZR模组
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ZR模组

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RJM系列

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晶圆切割-定龙门大理石十字平台
机器视觉解决方案 工业机器人解决方案 直驱电机解决方案 移动机器人解决方案
晶圆切割-定龙门大理石十字平台
客户需求

设备精度要求重复定位精度≤±0.5μm产品工艺要求单轴偏摆直线度≤2μm，俯仰直线度≤8μm 匀速段速度波动<0.2%(@500mm/s) 单轴最大速度500mm/s，加速度1G 交期不超过35Days

方案优势

主体部分采用天然大理石，结合SP级导轨，保证重复定位精度及直线度

偏摆直线度调试采用激光干涉仪作为测量工具

选用灵猴无铁芯电机+ACS走模拟量控制，控制速度波动