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定龙门大理石XYZ平台
定龙门大理石XYZ平台
客户需求

XY+Z轴全直驱大理石平台,Z轴重载长行程【65Kg&200mm】 客户自供ACS驱控,我司平台以高创二代CDHD2测试验收 XYZ轴系垂直度误差均要求全程<0.01mm 稳定的位置精度,重复定位精度≤1μm,绝对定位精度≤2μm

方案优势

”定滑轮式“带轮Z轴配重结构设计,提升Z轴重载平衡可调

SP IKO滚柱导轨配置,确保高几何精度

高性能无铁芯电机+20纳米级光栅位置反馈系统,保证高速、高精度