远心嵌入式系列
液态镜头
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UV刻蚀机-定龙门大理石YXZ平台
UV刻蚀机-定龙门大理石YXZ平台
客户需求
XY直驱重载空间正交十字大理石定龙门平台，Z轴长行程高精度丝杆模组，XZ叠十字侧装 客户自供ACS驱控，我司平台以高创二代CDHD2测试验收 X/Y与Z轴垂直度误差均要求全程≤0.01mm；X与Y轴垂直度误差均要求全程≤0.015mm，Y轴载平面运行平面度误差≤50μm 稳定的位置精度，双向重复定位精度≤2μm（X/Y）/8μm（Z） 绝对定位精度≤4μm（X/Y）/20μm（Z）
方案优势
搭配高精度丝杆模组THK组件——Z轴配外置第二编码器系统设计，提升Z轴电气精度
高性能无铁芯电机+20纳米级光栅位置反馈系统，SP IKO滚柱导轨配置，垫装导轨等策略确保高几何精度
