远心嵌入式系列
液态镜头
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MPS系列
MPS95系列模组Ⅰ
MPS系列
MPS95系列模组Ⅰ
采用封闭式结构，所有元件内置其中，整体结构简洁、安全
采用磁栅尺（标配）或光栅尺的全闭环反馈系统，分辨率高达0.1μm
重复定位精度±2μm，并可根据客户要求定制化开发更高精度运动平台
多滑台安装机构，柔性更高
兼容全钢带密封结构，适于无尘室使用
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主要参数
产品参数
外形尺寸
主要参数
模组宽度
95mm负载
10kg行程
90mm~630mm产品参数
| 性能参数 | 符号 | 单位 | 数值 |
| 平台运动参数 | |||
| 最大加速度 | amax | g | 6 |
| 最大速度 | vmax | m/s | 2 |
| 分辨率 | Re | μm | 1（磁栅） |
| 1（光栅） | |||
| 重复定位精度 | RP-H | mm | ±0.005（磁栅） |
| RP-P | mm | ±0.002（光栅） | |
| 安装方式 | 水平安装 | ||
| 电机参数 | |||
| 峰值推力 | FP | N | 270 |
| 持续推力 | FC | N | 105 |
| 型号 | 有效行程S/mm | 模组总长L/mm | 安装孔数量A | 孔到端距离B/mm | 模组总重量M/kg | 无负载运动质量Ms/kg |
| MPS95-1-90-M10-F06030 | 90 | 305 | 3 | 32.5 | 3.6 | 2.3 |
| MPS95-1-90-G10-F06030 | ||||||
| MPS95-1-150-M10-F06030 | 150 | 365 | 3 | 62.5 | 4.3 | |
| MPS95-1-150-G10-F06030 | ||||||
| MPS95-1-210-M10-F06030 | 210 | 425 | 4 | 32.5 | 5.0 | |
| MPS95-1-210-G10-F06030 | ||||||
| MPS95-1-270-M10-F06030 | 270 | 485 | 4 | 62.5 | 5.7 | |
| MPS95-1-270-G10-F06030 | ||||||
| MPS95-1-330-M10-F06030 | 330 | 545 | 5 | 32.5 | 6.4 | |
| MPS95-1-330-G10-F06030 | ||||||
| MPS95-1-390-M10-F06030 | 390 | 605 | 5 | 62.5 | 7.1 | |
| MPS95-1-390-G10-F06030 | ||||||
| MPS95-1-450-M10-F06030 | 450 | 665 | 6 | 32.5 | 7.8 | |
| MPS95-1-450-G10-F06030 | ||||||
| MPS95-1-510-M10-F06030 | 510 | 725 | 6 | 62.5 | 8.5 | |
| MPS95-1-510-G10-F06030 | ||||||
| MPS95-1-570-M10-F06030 | 570 | 785 | 7 | 32.5 | 9.2 | |
| MPS95-1-570-G10-F06030 | ||||||
| MPS95-1-630-M10-F06030 | 630 | 845 | 7 | 62.5 | 9.9 | |
| MPS95-1-630-G10-F06030 |
*上述参数均根据灵猴实验标准测试所得。
外形尺寸图
