远心嵌入式系列
液态镜头
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直线模组
MPS95系列模组Ⅱ
直线模组
MPS95系列模组Ⅱ
采用封闭式结构，所有元件内置其中，整体结构简洁、安全
采用磁栅尺（标配）或光栅尺的全闭环反馈系统，分辨率高达0.1μm
重复定位精度±2μm,并可根据客户要求定制化开发更高精度运动平台
多滑台安装机构，柔性更高
兼容全钢带密封结构，适于无尘室使用
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主要参数
产品参数
外形尺寸
主要参数
模组宽度
95mm负载
15kg行程
100~1180mm产品参数
| 性能参数 | 符号 | 单位 | 数值 |
| 平台运动参数 | |||
| 最大加速度 | amax | g | 6 |
| 最大速度 | vmax | m/s | 2 |
| 分辨率 | Re | μm | 1（磁栅） |
| 1（光栅） | |||
| 重复定位精度 | RP-H | mm | ±0.005（磁栅） |
| RP-P | mm | ±0.002（光栅） | |
| 安装方式 | 水平安装 | ||
| 电机参数 | |||
| 峰值推力 | FP | N | 270 |
| 持续推力 | FC | N | 105 |
| 型号 | 有效行程S/mm | 模组总长L/mm | 安装孔数量A | 孔到端距离B/mm | 模组总重量M/kg | 无负载运动质量Ms/kg |
| MPS95-1-100-M10-F12030 | 100 | 425 | 4 | 32.5 | 7.3 | 4 |
| MPS95-1-100-G10-F12030 | ||||||
| MPS95-1-160-M10-F12030 | 160 | 485 | 4 | 62.5 | 8 | |
| MPS95-1-160-G10-F12030 | ||||||
| MPS95-1-220-M10-F12030 | 220 | 545 | 5 | 32.5 | 8.7 | |
| MPS95-1-220-G10-F12030 | ||||||
| MPS95-1-280-M10-F12030 | 280 | 605 | 5 | 62.5 | 9.4 | |
| MPS95-1-280-G10-F12030 | ||||||
| MPS95-1-340-M10-F12030 | 340 | 665 | 6 | 32.5 | 10.1 | |
| MPS95-1-340-G10-F12030 | ||||||
| MPS95-1-400-M10-F12030 | 400 | 725 | 6 | 62.5 | 10.8 | |
| MPS95-1-400-G10-F12030 | ||||||
| MPS95-1-460-M10-F12030 | 460 | 785 | 7 | 32.5 | 11.5 | |
| MPS95-1-460-G10-F12030 | ||||||
| MPS95-1-520-M10-F12030 | 520 | 845 | 7 | 62.5 | 12.2 | |
| MPS95-1-520-G10-F12030 | ||||||
| MPS95-1-580-M10-F12030 | 580 | 905 | 8 | 32.5 | 12.9 | |
| MPS95-1-580-G10-F12030 | ||||||
| MPS95-1-640-M10-F12030 | 640 | 965 | 8 | 62.5 | 13.6 | |
| MPS95-1-640-G10-F12030 |
*上述参数均根据灵猴实验标准测试所得。
外形尺寸图
