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八寸晶圆划片机,轴向跳动与径向跳动不超过3μm 划片过程一直喷洒液体,要求马达防水,码盘中不可有水雾造成编码器报错 DD的定位精度不超过±15角秒,重复定位精度不超过±1.5角秒 马达尺寸外径不超过140mm,高度不超过90mm
马达采用迷宫式防水设计,并全部用胶密封,防止水雾进入内部
采用LHO-140-90马达,整个装配过程中检测项均填表和视频记录,保证轴承及读数头的安装
用磨床对成品马达端面进行研磨,保证马达端跳