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YX轴,重复定位精度≤±2μm,绝对定位精度≤±4μm;Z轴,重复定位精度≤±1μm,绝对定位精度≤±3μm;XYZ轴,每10mm一个点进行补偿;AC轴,顺时针每10°一个点,往复两次;出货提供补偿表 单轴可实现<30ms快速整定,<10ms高动态响应,速度均匀性:≤±1%@200mm/S,回零重复性:≤±1um(X/Y/Z轴) X/Y/Z轴垂直度≤10μm/500mm,A轴与X轴平行度要求<10μm C轴端跳 /轴跳均控制在5μm以内,AC重复定位精度<±2.5arcsec
采用自主研制磁力弹簧(附安装治具),Z轴配重方案
XY轴采用高动态响应、低速度波动无铁芯BIM系列自研自制电机
AC轴垂直治具制程管控,C轴采用自研内转子DDR,A轴配置抱闸
高刚性定龙门结构,采用济南青