扫码进入选型小程序


关注我们
扫码进入选型小程序
镜筒小十字-双Tray盘物料10*10矩阵排列,物料间距10mm,小十字每次步进10mm/1s,重复定位精度≤±1μm,绝对定位精度≤±2μm,可实现<10ms快速整定,<10ms高动态响应 取与镜筒小十字对中位置,组装定横梁架表固定,移动镜筒XY小十字测定其末端滑板精面110mm*110mm面域内运行平行度≤5μm 大十字【镜片】、小十字【镜筒】总高均限制≤120mm
小十字采用IKO P级导轨,搭配高精度光学编码器,分辨率100nm
小十字配置超薄、高动态响应无铁芯BUMA系列自研自制电机
除末端载板40Cr13磨制件,十字轴基座+滑板均采用济南青
末端载板可调结构,保障面域内运行平行度<5μm