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测外壁镜头
可调微型多视角镜头
多视角镜头
液态可调微型多视角镜头
多视角镜头
液态微型多视角镜头
多视角镜头
微型多视角镜头
多视角镜头
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多视角镜头
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多视角镜头
八等分多视角镜头
多视角镜头
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斜像镜头
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斜像镜头
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斜像镜头
高性能内同轴远心镜头
高性能内同轴远心镜头

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远心镜头
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远心镜头
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远心镜头
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远心镜头
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非远心镜头
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FA镜头
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FA镜头

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高亮光源
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平面无影光源
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电压型模拟光源控制器
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高亮频闪型光源控制器
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高亮频闪型光源控制器

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深度相机

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协作机器人
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无铁芯BIM系列

杆式电机
BUMTA系列
无铁芯BUM系列
BUMT系列
无铁芯BUM系列
BFMA06系列
有铁芯BFM系列
BFMA12系列
有铁芯BFM系列
BFMA18系列
有铁芯BFM系列
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有铁芯BFM系列
BFMB22系列
有铁芯BFM系列
BFMC03系列
有铁芯BFM系列
BFMC06系列
有铁芯BFM系列
BFMC09系列
有铁芯BFM系列
BFMC12系列
有铁芯BFM系列
BFMC15系列
有铁芯BFM系列
BFMD22系列
有铁芯BFM系列
BFME22系列
有铁芯BFM系列
BIM3系列
无铁芯BIM系列
BIM4系列
无铁芯BIM系列
BIM5系列
无铁芯BIM系列
BSM16系列
杆式电机
BSM25系列
杆式电机
BSM32系列
杆式电机

内转子

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FIC40系列
FIC系列
FIC62系列
FIC系列
FOI112系列
有框外转子
FOI80系列
FOI系列
FOI170系列
FOI系列
FOI224 系列
FOI系列
FOI263系列
FOI系列

SP系列

LPS系列

MPS系列

HPP高速拾取平台
SP60系列模组
SP系列
SP80系列模
直线模组
SP100系列模组
直线模组
LPS140系列模组Ⅰ
LPS系列
LPS140系列模组Ⅱ
直线模组
LPS170系列模组Ⅰ
直线模组
LPS170系列模组Ⅱ
直线模组
LPS210系列模组Ⅰ
直线模组
LPS210系列模组Ⅱ
直线模组
MPS95系列模组Ⅰ
MPS系列
MPS95系列模组Ⅱ
直线模组
MPS150系列模组Ⅰ
直线模组
MPS150系列模组Ⅱ
直线模组
MPS180系列模组Ⅰ
直线模组
MPS180系列模组Ⅱ
直线模组
MPS200系列模组Ⅰ
直线模组
MPS200系列模组Ⅱ
直线模组
MPS250系列模组Ⅰ
直线模组
MPS250系列模组Ⅱ
直线模组
HPP高速拾取平台
直线模组

LHK系列
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LHK50
丝杆模组
LHK60
丝杆模组
LHK86
丝杆模组
LHK100
丝杆模组

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LRSA-DS6-20系列
ZR模组
LRSA-DS8-25系列
ZR模组
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ZR模组
LRSG-DS8-25系列
ZR模组

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RJM系列

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标准底盘
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3C行业Tray盘搬运专机
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AA制程主动对焦应用--双ZYZ大理石平台
机器视觉解决方案 工业机器人解决方案 直驱电机解决方案 移动机器人解决方案
AA制程主动对焦应用--双ZYZ大理石平台
客户需求

高精直线各轴重复定位精度≤±0.2μm，绝对定位精度≤±1μm 各轴直线度≤5μm，平行度、垂直度均要求≤5μm@（500*500mm） XYZ各轴动态要求，到位误差整定到零＜20ms 大理石基座平面度＜5μm

方案优势

微动轴全系采用高精度交叉滚子导轨

Z轴使用磁力弹簧配重，较弹簧、气缸，恒力且动态效果好

采用高带宽响应Elmo驱动器，可实现亚微米级快速运动及整定