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晶元粘连缺陷检测
晶元粘连缺陷检测
客户需求

晶元尺寸在微米量级,普通高倍远心镜头分辨率不足,图像效果较差,没法清晰识别特征。

方案优势

液态显微镜头分辨率高达1um,能清晰识别特征点,且自身集成点光源,图片对比度明显;

匹配液态镜头,可实现显微物镜焦平面的快速调节,在机构静止的条件下,满足不同高度的检测需求。

液态显微镜头拍摄效果
普通高倍镜头拍摄效果