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OLED贴合组装十字平台
OLED贴合组装十字平台
客户需求

叠十字外高H≤140mm 双工位十字等高要求——共面误差<20μm 单轴重复定位精度±1μm【全程】,单向1mm,2mm,3mm短点寸动——绝对定位误差<2μm/3mm 高速高加速响应,速度>1m/s,加速度>0.5g

方案优势

采用高精度低线性膨胀系数玻璃基材光栅尺(及配套光编)

十字模组严格制程几何精度管控,最后,双工位十字等高加工

滑板轻量紧凑,多头同时点胶节省CT,提升工站柔性作业