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设备要兼容多款摄像头组装,要求Z轴行程大,精度高 设备可实现上下料、点胶、测高、AA组装 设备分AB面,每一面分A1/A2或B1/B2两组,同面共用一套镜头,要求各组之间振动干扰控制微米级 特殊工艺要求,测高位与AA位末端Z向变动量≤10μm,间距900mm 大X轴带两组六轴高速运动,同时六轴要调整姿态
微调平台各轴均采用模块化设计,根据自由度和负载搭配
基座采用大理石,尺寸1330×2170,保证微米级的安装面
A1/A2或者B1/B2的双动子轴采用独立轨道,阻断振动传播
XY轴精度±0.5μm,Z轴精度±0.2μm
优化同向小X轴电机,提升推力,抵抗加速度冲击