灵猴的直线电机模组交叉滚子滑台，采用超薄有铁芯直线电机BPMA系列，推力大，体积小，齿槽力低，采用光栅尺，分辨率可达0.1微米，定位精度可达3微米，重复定位精度可满足1微米，采用精密级防蠕动交叉滚子导轨，采用新型动磁结构，线缆固定，外观简洁。 它的特点主要是，体积小，厚度仅75mm，适用于电子自动化设备。能够最大限度利用空间，定位精度高。 某客户需要小型直线电机应用到设备上，需要峰值推力200N，最大加速度需要200mm/s，重复定位精度3微米。通过了解客户需求，采用直线电机交叉滚子滑台，尺寸为350mm*380mm，最大限度的节省了客户设备的空间，重复定位精度1微米，满足了客户需求。